苏州云禾电子科技有限公司 生产的UVLED平行光光源是采用双非球面透明通过LED发射出平行光且平行光发光角度＜2°的紫外线

线路解析度可达到50μ以下大大提高了曝光线路的精密度以至于提高线路曝光蚀刻的良率，而LED发光光源是冷光源又同时规避了

菲林的涨缩提升了影响转移的品质。其YUNHOE的LED紫外线光源寿命可达到2万小时以上，通过光学设计光均匀性和稳定性确保

制程的稳定性和产品的良率。苏州云禾电子的UVLED曝光光源是由行业从业经验11年的团队多年研发设计制造而成，保证其国产化

其技术不含美国限制技术，可完全实现供应链的稳定和持续性，从而为国产光刻机曝光机尽一切努力。