苏州云禾电子科技有限公司 生产的UVLED平行光光源是采用双非球面透明通过LED发射出平行光且平行光发光角度＜2°的紫外线
线路解析度可达到50μ以下大大提高了曝光线路的精密度以至于提高线路曝光蚀刻的良率，而LED发光光源是冷光源又同时规避了
菲林的涨缩提升了影响转移的品质。其YUNHOE的LED紫外线光源寿命可达到2万小时以上，通过光学设计光均匀性和稳定性确保
制程的稳定性和产品的良率。苏州云禾电子的UVLED曝光光源是由行业从业经验11年的团队多年研发设计制造而成，保证其国产化
其技术不含美国限制技术，可完全实现供应链的稳定和持续性，从而为国产光刻机曝光机尽一切努力。
UV平行光紫外线光刻胶曝光光源具体参数如下
UVLED曝光机控制器（UVC80） | 通道 | CH1/CH2 | |
功率 | mw/cm² | 可调 | |
照射模式 | 手动 | 触摸屏、脚踏、0~10v | |
自动 | 时间：0~999.9 | ||
阶梯 | 分段控制：1~16 | ||
循环 | 循环次数：1~99 | ||
控制模式 | 触摸屏、脚踏、0~10V、PLC控制 | ||
冷却方式 | 风冷 | ||
电压 | AC100-240V 50/60HZ | ||
机箱尺寸 | 350*250*150 | ||
重量 | 8kg | ||
曝光机照射头 UVDLL135W135
| LED类型 | 紫外LED | |
波长范围 | nm | 365 | |
外形结构尺寸 | mm | 150*150*140 | |
发光尺寸 | mm | 135*135 | |
照射距离 | mm | 100-300 | |
照射功率@距离 | 可选配低功率版本 mw/cm2 | 500mw@160mm | |
出光角度范围 | ° | 1.4°-1.7° | |
出光均匀性 | ≥90% | ||
散热方式 | 强制 | 风冷 | |
LED使用寿命 | H | 20000-30000 | |
电功率 | w | 190 | |
使用环境温度/湿度 | 5±40℃ 20-85% | ||
储存环境温度/湿度 | -10±60℃ 20-85% | ||
电源线 | 电缆 | m | 2 |
连接线 | 柔性电缆 | m | 2 |