苏州云禾电子科技有限公司生产的LEDUV平行光紫外线是ARF光刻机EUV光刻和DUV光刻机上使用的UV曝光光源,其作用是UV光刻使集成电路显影蚀刻形成高良率的精密线路。
YUNHOE其生产多种规格的平行光紫外线根据不同光刻胶和光敏树脂进行匹配,选用不同波段针对性进行UV光刻,其有310nm 也有365nm 对光敏玻璃和光刻机UV曝光应用中得到了广泛使用。